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產(chǎn)品中心

Product Center

方阻測試儀

產(chǎn)品簡介

Filmetrics R50 是KLA電阻測試家族的最新產(chǎn)品。R50方阻測試儀是KLA超45年電阻測量技術(shù)地位之作。電阻測量和監(jiān)控對于任何使用導(dǎo)電薄膜的行業(yè)都至關(guān)重要,從半導(dǎo)體制造到可穿戴技術(shù)所需的柔性電子產(chǎn)品。R50在金屬膜均勻性分布、離子摻雜和注入表征、薄膜厚度和電阻率分布、以及非接觸膜厚等量測均進行了優(yōu)化加強。

產(chǎn)品型號:R-50
更新時間:2024-06-17
廠商性質(zhì):代理商
訪問量:3969
詳細介紹在線留言
品牌其他品牌價格區(qū)間面議
檢測參數(shù)多參數(shù)儀器種類臺式
應(yīng)用領(lǐng)域電子/電池,航空航天,汽車及零部件,電氣,綜合

KLA薄膜電阻測量技術(shù)方阻測試儀包括接觸(4PP)和非接觸(EC)方法。

Filmetrics的R50系列方塊電阻測量儀器可測量沉積在各種基材上的導(dǎo)電片和薄膜,跨越10個數(shù)量級范圍電阻率,包括:

半導(dǎo)體晶圓基板

玻璃基板

塑料(柔性)基材

PCB圖案特征

太陽能電池

平板顯示層和圖案化特征

金屬箔

二、方阻測試儀主要功能

l 技術(shù)規(guī)格

測量范圍:5m Ohm/sq - 5M Ohm/sq;

測量精度: +/- 1%;

重復(fù)度: 小于 0.2%;

樣品圖中無*的測量點位,自定義測量Recipe,可線性、矩形、

極坐標以及自定義等。

Model

Description

R50-4PP

四探針測試

自動XY移動臺-100mm*100mm

可實現(xiàn)直接100mm晶圓方塊電阻mapping測量

可放置直徑200mm晶圓樣品

R50-EC

非接觸渦流測試

自動XY移動臺-100mm*100mm

可實現(xiàn)直接100mm晶圓方塊電阻mapping非接觸測量

可放置直徑200mm晶圓樣品

R50-200-4PP

四探針測試

自動XY移動臺-200mm*200mm

可實現(xiàn)直接200mm晶圓方塊電阻mapping測量

R50-200-EC

非接觸渦流測試

自動XY移動臺-200mm*200mm

可實現(xiàn)直接200mm晶圓方塊電阻mapping非接觸測量

三、應(yīng)用

支持廣泛的測量,包括但不限于以下各項:

金屬膜厚度、基板厚度、方塊電阻、電阻率、電導(dǎo)率、摻雜濃度等。



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