高分辨率納米壓印模板（Mold for nanoimprint lithography）

產(chǎn)品簡(jiǎn)介

高分辨率納米壓印模板（Mold for nanoimprint lithography）采用*制造工藝，可把平面納米壓印拓展到任意曲面。標(biāo)準(zhǔn)模板分為三類：Quartz Molds, Silicon Molds, Polymer Molds of 2“、3“、4“。適用于Obducat，Suss，HP，EVG等多種型號(hào)的納米壓印設(shè)備。

產(chǎn)品型號(hào)：石英/硅/聚合物模板

更新時(shí)間：2024-06-17

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高分辨率納米壓印模板（Mold for nanoimprint lithography）技術(shù)參數(shù)：

Deliveryofnanoimprinttemplatesinvariousmaterials（Si,SiNx,SiC,quartz,glass）.Maximumareaofthetemplates:4inchwithfeaturesizeof100nm.Forsmallerarea,minimumfeaturesizeof50nm.

提供各種材料的納米壓印模板（硅，氮化硅，碳化硅，石英玻璃）。模板zui大尺寸：4英寸，特征尺寸為100nm。對(duì)于更小的尺寸，zui小的特征尺寸可以達(dá)到50nm。

DeliveryofEBLserviceforvariousstructureswiththefeaturesizedownto30nm.Substrates:anyconductingornon-conductingwafers.

提供zui低30nm特征尺寸的各種結(jié)構(gòu)的電子束刻蝕服務(wù)?；澹喝魏螌?dǎo)電或者非導(dǎo)電晶片。

MicroandnanofabricationsforallkindsofnanostructuresinaSi,III-V,II-VIandpolymers.

各種納米結(jié)構(gòu)（硅，III-V族元素，II-VI族元素以及聚合物）的微納米加工。

高分辨率納米壓印模板（Mold for nanoimprint lithography）主要特點(diǎn)：

softmoldforthermalnanoimprint熱壓印的軟模板

quartzmoldforUVnanoimprint紫外壓印的石英模板

siliconmoldforthermalnanoimprint熱壓印的硅模板

上一個(gè)：Nanofocus μSurf白光共軛焦輪廓儀